凈化車間zui主要之作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度，使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、制造，此空間我們稱之為凈化車間。按照慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了無塵標準的*。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于*，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也就是業(yè)內俗稱的1K級別。
凈化車間一般結構材料
1.凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強。圓弧墻角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材制造
2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。
3.送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4.送風口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔
常規(guī)參數(shù)
換氣次數(shù)：100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥30次。
壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa
平均風速：10級、100級0.3－0.5m/s；
溫度 冬季>16℃；夏季 <26℃；波動±2℃。
溫度45－65%；GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜；電子車間濕度略高以免產生靜電。
噪聲≤65dB（A）；
新風補充量是總送風量的10%－30%；
照度300LX
© 2018 昆山市海興凈化設備有限公司版權所有 備案號：蘇ICP備09064244號-3 技術支持：化工儀器網 GoogleSitemap 總訪問量：230289 管理登陸
在線咨詢